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        刃口測(cè)量儀技術(shù)參數(shù)
        
    
        更新時(shí)間：2019-03-21        點(diǎn)擊次數(shù)：2479
        
    
        
    	
        小測(cè)量半徑：2µm

        小測(cè)量楔角：20°

        小測(cè)量粗糙度（Ra）：80nm

        小測(cè)量粗糙度（Sa）：50nm

        大掃描高度：25mm

        大操作距離：17.5（5×物鏡）

        大擴(kuò)展視野范圍：2500mm2

        垂直分辨率：20nm

        大單一方向測(cè)量范圍：50mm

        位移范圍（X/Y）:50mm×50mm(自動(dòng)調(diào)節(jié))

        位移范圍（Z）:130mm(26mm自動(dòng)調(diào)節(jié))
        
    
        
    
        
    	
    
        

        




        
  
        
    
        
      
      
        
        
        
          
        全國統(tǒng)一服務(wù)電話
        
          010-62930470
        
        
        
          
        電子郵箱：info@dataphys.com.cn
        
          
        公司地址：北京市海淀區(qū)知春路甲63號(hào)51號(hào)樓衛(wèi)星大廈1208室
        
        
        
        
        
          
        公眾號(hào)
        
        
        
      
        
    
        
  
        
  
        
    
  
        

        
 



         
     

        




 
  



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