三維表面形貌測量儀IF-Sensor R25

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 是奧地利alicona公司專門針對生產(chǎn)中全自動測量形貌和粗糙度而設計的一款光學三維測量儀。

三維表面形貌測量傳感器IF-Sensor R25 系 統(tǒng)

傳感器與生產(chǎn)線相結合使得在測量微米和亞微米級別的表面特性時該設備可以提供高分辨率，可重復型和可溯源的結果。所測得結果的分辨率是傳統(tǒng)2D測量和接觸式測量所不能比擬的。

R25 優(yōu) 勢

在研發(fā)和生產(chǎn)過程中，自動變焦（Focus-variation)技術可以提供高分辨率、高重復性的測量結果。因此 R25為研發(fā)和生產(chǎn)提供了同一個測量流程平臺。標準化界面(QDAS)支持生產(chǎn)中的簡易快速整合，實現(xiàn)了生產(chǎn)線和實驗室測量結果的對比。

R25的技術參數(shù)：

位移距離（Z）：26mm（自動調節(jié)）

zui大掃描高度：25mm

*垂直分辨率：20nm

zui小測量半徑：2µm

zui小測量楔角：20°

zui小測量粗糙度(Ra):80nm

zui小測量粗糙度(Sa):50nm

zui大測量傾斜角：87°